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很多人在使用新的碳化硅坩埚的时候都不会进行预热处理,这样是非常容易导致坩埚破裂的,所以大家在使用坩埚之前一定要进行预热处理哦,下面我们来看看如何给坩埚进行预热处理吧。
碳化硅坩埚
预热处理就是为了给坩埚进行除湿操作,可以将新的坩埚在使用之前的4-5个小时将其放置在天然气炉边预热。也可以在新坩埚使用前在坩埚内放置木炭燃烧4个小时左右,这样也能够给坩埚除湿。新的坩埚炉内升温预热的时间温度变化:0℃--200℃ 慢速升温 4H 油 0℃--300℃ 慢速升温 1H 电 200℃--300℃ 慢速升温 4H 炉 300℃--800℃ 慢速升温 4H 炉 300℃--400℃ 慢速升温 4H 400℃--600℃ 快速升温保持 2H4.停炉后,开炉预热时间如下:天然气炉及电炉: 0℃--300℃ 慢速升温 1H 300℃--600℃ 慢速升温 4H 600℃-快速升温到 需要一定的度数 。
了解这些特性才能让我们更好的利用其开展相应的工作!