组合式多晶硅提纯凝固坩埚由外坩埚和内坩埚组成

发布日期：2021-04-02 作者：点击：

石墨坩埚制造商介绍，组合式多晶硅提纯凝固坩埚由外坩埚和内坩埚组成，内坩埚套在外坩埚内，由石墨制成的圆柱形内坩埚由几个相同的分块拼接而成。内坩埚外表面加工成锥形，圆柱形外坩埚内表面加工成与内坩埚外表面相匹配的锥形，内坩埚底部分与坩埚底相匹配

石墨坩埚

在坩埚底，周围加工出可与内坩埚底零件相配合的凸台，内坩埚底零件的端面与凸台支撑面紧密接触，内坩埚底零件的内表面与凸台侧面紧密接触。

内坩埚的内表面和内坩埚中的坩埚底表面设有氮化硅涂层。采用这种结构，由于内坩埚由多个相同的拼合块拼接而成，而外坩埚由普通石墨制成，因此在多晶硅定向凝固时，内坩埚的拼合块沿拼接位置拼合，从而保证了内坩埚的完整性，成本高，延长了内坩埚的使用寿命。实测表明，生产每吨多晶硅产品的坩埚成本从4万元降低到8000元，节约坩埚成本3.2万元。